松田和典

鳴門教育大学助教授
徳島文理大学理工学部教授 ナノ物質工学科
工学博士
  • 応用物理学会
  • 日本物理学会
  • 電気学会
  • 日本物理教育学会
  • Spring-8 懇談会
  • センシング技術応用研究会
  • NSTI Nanotech 国際会議(MSM 部会)組織委員
  • 第8回高柳研究奨励賞(1992)イリノイ大学ベックマン研究所招聘助教授(2001)
  • リフレッシュ理科教育実行委員(香川支部)
半導体の電気伝導に関わる基礎研究と、これをもとにしたマイクロ(ナノ)エレクトロニクス、センサー、MEMSに関わる応用研究を行っています。
  1. 歪シリコンの移動度に関する研究
  2. Siの非線形ピエゾ抵抗効果に関する研究
  3. MOSFETのピエゾキャパシタンス効果に関する研究
  4. 基板陽極接合に関する研究
  1. 歪シリコンデバイス(センサー)
  2. MEMS(マイクロマシン)
  3. マイクロ(ナノ)エレクトロニクス
  4. 物性物理学
  1. 半導体の電気的機械的物性
  2. 微細加工
  3. 電子計測
  4. シミュレーション
シリコン、マイクロデバイス、センサー、微細加工、MEMS
フォトリソグラフィ装置、ドライエッチング装置(REI)、走査型プローブ顕微鏡(SPM)、MEMS用CAD、デバイス・プロセスシミュレーション用ソフト
電話:087-899-7249, Fax:087-894-4201