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教員紹介-Staff Profile-

教員名:松田 和典(マツダ カズノリ)

研究室:ナノ・マイクロデバイス研究室
学 位:博士(工学)

【主な担当授業】

電子情報ナノ材料,工業物理学,線形代数学,物性物理学

経歴・学歴

1980年 筑波大学第1学群自然学類 卒業
1982年 筑波大学大学院修士課程理工学研究科 修了
1982年 株式会社東芝 NAIG総合研究所
1986年 浜松医科大学医学部
1992年 鳴門教育大学学校教育学部
1999年 兵庫教育大学大学院 連合学校教育研究科(兼任)
2001年 イリノイ大学アーバナシャンペーン校ベックマン研究所(客員)
2006年 徳島文理大学

研究室風景

研究内容

専門分野 半導体工学
研究課題
(テーマ)
歪シリコンおよびマイクロセンサーに関する研究
研究概要 シリコンは地球上で酸素に次いで2番目に豊富が元素で、半導体という電気的特性や機械的特性に優れた材料です。現代では携帯電話、自動車、家電製品などに入っているコンピュータのCPU、太陽電池、センサー、アクチュエータなどにシリコンが広く使われており、現代社会の発展にはシリコンテクノロジーが重要な役割を果たしています。
本研究室ではシリコンデバイスの性能および信頼性の向上や新しいデバイスの開発を目的として、シリコン電気特性の結晶歪効果について研究を行っています。
主な研究論文・著書等 1. Proposal for Reducing Patter Position Alignment Error of a Simplified Photo Lithography Method for Education, Proceedings of the 12th International Symposium on Advances in Technology Education , 2018.
2. Graphical Representation and Origin of Piezoresistance Effect in Germanium, IOP Conference Series: Journal of Physics, 864, 012045 2017.
3. Lloyd’s Mirror Interference Lithography as a Micromachining Education, Proceedings of the 9h International Symposium on Advances in Technology Education, pp.459-462,2015.
4. Equivalent-circuit Model for Electrostatic Micro-torsion Mirror: Special Issue of Journal of Computational Electronics., 10(1), pp.136-140, 2011.
5. Strain-Dependent Hole Masses and Piezoresistive Properties of Silicon: Journal of Computational Electronics. 3, pp.273-276, 2004.
6. Stress-Induced Effects on Depletion-Layer Capacitance of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors, Applied Physics Letters 83(21), pp.4351-4353, 2003.
7. Nonlinear Piezoresitance Effects in Silicon, Journal of Applied Physics 73(4), pp.1838-1847, 1993.
8. The Mechanism of Field Assisted Silicon-Glass Bonding, Sensors and Actuators A21-A23, pp.939-943, 1990.
9. Nonlinearity of Piezoresitance Effect in p and n-Type Silicon, Sensors and Actuators A21-A23, pp.45-48, 1990.
10. Second-order Piezoresitance Coefficients of n-Type Silicon, Japanese Journal of Applied Physics 28(10), pp.L1676-L1677, 1989.
11. Growth of the Avalanche along the Anode Wire in a Gas Counter, Nuclear Instrument and Methods 203, pp.605-607, 1982.

主な卒業研究

【2017】
・Siショットキー接触の歪効果
・全反射減衰法による表面プラズモン共鳴測定装置の開発Ⅱ
【2016】
・MOSキャパシタの試作と評価
・SOG法によるSi太陽電池の試作と評価Ⅱ
【2015】
・フォトリソグラフィ―における条件の最適化
・スピンオングラスを用いた太陽電池の試作と評価

学生へ向けたメッセージ

大学では専門的知識ばかりでなく、広い視野や問題解決方法を学べることが重要です。大学生活や授業において先生や友人などから多くのことを得ることができ、職業や進路についても糸口をつかめるでしょう。社会は大きく変革しています。知識は有限ですが、問題解決能力によって未知の可能性を生みだし、来るべき社会で活躍してほしいと思います。

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